ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, সেমিকন্ডাক্টর এবং ভ্যাকুয়াম ইলেকট্রনিক ডিভাইস তৈরিতে উচ্চ-বিশুদ্ধতা নাইট্রোজেন একটি প্রতিরক্ষামূলক এবং বাহক গ্যাস হিসাবে ব্যবহৃত হয়; এটি রাসায়নিক বাষ্প জমাতে বাহক গ্যাস হিসাবে কাজ করে; এটি তরল প্রসারণ উত্সে গ্যাস বহন করে; এবং এটি উচ্চ-তাপমাত্রা ছড়ানো চুল্লিগুলিতে ডিভাইসগুলির জন্য একটি সুরক্ষামূলক গ্যাস হিসাবে কাজ করে৷
উচ্চ-বিশুদ্ধতা নাইট্রোজেন এপিটাক্সি, ফটোলিথোগ্রাফি, পরিষ্কার এবং বাষ্পীভবনের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে স্থানচ্যুতি, শুকানো, সঞ্চয় এবং পরিবহনের জন্য গ্যাস হিসাবে ব্যবহৃত হয়। ক্যাথোড রে টিউব তৈরিতে 99.99% বা তার বেশি নাইট্রোজেন বিশুদ্ধতা প্রয়োজন। মহাকাশ প্রযুক্তিতে, তরল হাইড্রোজেন রিফুয়েলিং সিস্টেমগুলিকে প্রথমে উচ্চ-বিশুদ্ধতা নাইট্রোজেন দিয়ে পরিস্কার করতে হবে, তারপরে উচ্চ-বিশুদ্ধতা হিলিয়াম।
2025 সালের ডিসেম্বরে, স্টেট অ্যাডমিনিস্ট্রেশন ফর মার্কেট রেগুলেশন উচ্চ-বিশুদ্ধতা নাইট্রোজেনের জন্য জাতীয় মানক উপাদান অনুমোদন করে এবং প্রকাশ করে, যা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরিতে পরিষ্কার, এচিং এবং জমা করার মতো গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়, সেইসাথে ফটোলিথোগ্রাফি, আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং টেগ সার্কিটেশন উৎপাদনে রেটেড সার্কিটেশনের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়।